无液氦光耦合扫描探针显微镜  招标公告

发布者:高海燕发布时间:2024-03-08浏览次数:160

一、项目名称:无液氦光耦合扫描探针显微镜

二、招标编号:S2024016

三、招标人:苏州大学金沙检测线路(js69)有限公司

地址:江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904

邮编:215021       传真:0512-67165076

联系人:丁老师      电话:0512-6750419867504359

电子邮箱:dingy@suda.edu.cn

技术联系人:仲老师    电话:15195689860

电子邮箱:qgzhong@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量及主要性能参数要求

无液氦光耦合扫描探针显微镜  1

(一)主要技术参数及配置要求

整体要求:系统具有耦合光学信息的功能,可将激光引入针尖和样品之间的隧道结,实现低温针尖诱导和光诱导单分子反应结合。具备与液氦型杜瓦恒温器相同的低振动水平,无需灌注液体制冷剂的液氦闭循环多功能扫描探针系统。

1低温SPM核心部分

低温SPM为本套设备的核心模块,能够实现从室温到液氦温度区间进行SPM实验。氦闭环液化系统为连续流恒温器提供冷指,SPM探头通过弹簧悬挂于连续流恒温器下方,其外部包裹着两层低温屏蔽罩以保证降温。

扫描探头工作温度:4.5K300K

降温时间:由室温降至4.5K不超过10h

温度稳定性:恒温实验室环境下±1mK

温度漂移:XY100pm/hZ50pm/h

空间分辨率:能够实现HOPGAu(111)表面的STM原子分辨成像及NaCl(100)Si(111)表面的AFM原子分辨成像。

1.1氦闭环液化系统

1.1.1氦闭环液化系统采用GM4K制冷机作为冷源对氦气降温液化,液氦通过柔性输液杆输入连续流恒温器为SPM降温,降温后的液氦气化返回氦气气路并再次输送至制冷机液化,进而循环降温。

1.1.2配套低温温度控制器:四路输入通道及四路输出通道。

1.2无液氦闭循环系统抽气泵组

该泵组须包含一套抽速80L/s分子泵(配套风冷降温装置)、一台机械干泵(抽速不小于6m3/h)及一个全量程规(1×10-5Pa1×10+5Pa)。

1.3分体式冷水机

制冷量不小于15kW分体式冷水机一套,用于给压缩机降温。

1.4连续流恒温器

连续流恒温器一套,安装于SPM腔体上方;CF63安装法兰,工作温度4K430 K,底部含有一个加热器及二极管测温计。

1.5SPM探头及低温屏蔽罩

1.5.1 SPM探头需兼容旗型样品托;

1.5.2 粗移动范围≥2mm×2mm×5mm

1.5.3 扫描范围≥4µm×4µm×1µm(室温);

1.5µm×1.5µm×0.4µm(液氦温区);

1.5.4低温屏蔽罩:两层低温屏蔽罩,铝材质,表面镀金;

1.5.5内层屏蔽罩底部预留一个低温存样位置,可将样品降温(降温后的样品可通过机械手抓至SPM腔解理);

1.5.6 SPM探头样品附近装有低温传感器用于监测温度;

1.5.7 SPM探头一侧须安装一个透镜,透镜可通过纳米移动台驱动(XYZ=3mm×3mm×3mm);

1.5.8 配套不少于5STM针尖架,2AFM针尖,1HOPG样品。

1.6SPM控制器

1.6.1 Nanonis SPM控制器一套(主要包括BP5e主控器、HVS4高压电源、HVA4-0222高压放大器、PMD4压电陶瓷驱动器、OC4振荡器及连接线),须包含Lock-in模块。

1.6.2 配套STM前置放大器;

1.6.3 配套AFM前置放大器;

1.6.4 配套控制主机及双台显示屏;

1.6.5 配套CCD

 2   SPM腔体部分

SPM部分用于承载低温SPM单元,为其提供超高真空环境;

SPM极限真空度优于2×10-10 mbar

2.1SPM腔体

2.1.1材质为304不锈钢,腔体经电解抛光及高温除氢处理;

2.1.2 腔体漏率优于1.33×10-11Pam3/sec;长度误差优于±1mm,角度误差优于±

2.2真空泵及真空规

2.2.1抽速400L/s离子泵一台(集成TSP)

2.2.2 真空规一套,测量范围1.0×10-3mbar3.0×10-11mbar

2.2.3 配套所涉控制器及线缆。

2.3 真空阀门

CF100手动插板阀:用于隔断SPM腔与Prep腔的连接。

2.4机械手

用于样品及针尖传递。

2.5样品针尖暂存装置

不少于10个暂存位置,用于存储样品或针尖。

2.6观察窗

必要位置配备观察窗用于观测,观察窗数量不少于四个,其中一个材质为熔融石英观察窗(波长200nm以上透过率在90%以上,用于做原位光激发反应实验)。

 3  Prep部分

Prep部分为系统的样品制备及处理单元。该部分含有离子源,用于处理样品或者样品衬底;另外包含高低温样品台,用于对样品进行退火或降温及传递样品及针尖的作用。

Prep极限真空度:优于2×10-10mbar

3.1Prep

3.1.1 Prep腔体材质为304不锈钢,腔体经电解抛光及高温除氢处理;

3.1.2 腔体漏率优于1.33×10-11Pam3/sec;长度误差优于±1mm,角度误差优于±

3.2真空泵及真空规

3.2.1 抽速400 L/s离子泵一台(集成TSP)

3.2.2 抽速300L/s分子泵一台(配套风冷降温装置);

3.2.3 真空规一套,测量范围1.33×10-3mbar2.66×10-11mbar

3.2.4 含所涉控制器及线缆。

3.3真空阀门

CF100手动插板阀:用于隔断Prep腔与300L/s分子泵的连接

3.4样品台

3.4.1 五轴高低温样品台;

3.4.2 样品运动:X/Y轴±12.5mm(手动);

3.4.3 Z450mm(电动);

3.4.4 轴向旋转±180°;

3.4.5 样品面内旋转±180°;

3.4.6 热辐射加热≤800℃;

3.4.7 液氮降温<130K

3.4.8 配套电机控制器、加热控制器及线缆。

3.5  离子源

3.5.1 5 keV 离子源(配套控制器)。

3.5.2 配套气路。气路分两路,一路连接Prep腔,一路连接SPM腔;每路气路均包含漏阀、真空隔断阀、减压阀,其中漏阀与腔体(或离子源)连接,减压阀与气体气瓶连接;气路通过Load-lock腔使用分子泵抽真空。

3.6 真空质谱检漏仪

RGA 300真空质谱检漏仪一套,须配电子倍增。

3.7观察窗

必要位置配备观察窗用于观测,观察窗数量两个。

4    Load-lock部分

Load-lock部分用于在不破坏主腔真空情况下向系统内传入样品/针尖,单次可传入多个样品或针尖;

Load-lock腔极限真空度优于5×10-8mbar

4.1Load-lock腔体

4.1.1 Load-lock腔体材质为304不锈钢,腔体经电解抛光及高温除氢处理;

4.1.2 腔体漏率优于1.33×10-11Pam3/sec;长度误差优于±1mm,角度误差优于±

4.2真空泵及真空规

4.2.1 抽速80L/s分子泵一台(配套风冷降温装置);

4.2.2 机械干泵一台,抽速不小于6m3/h

4.2.3 全量程规一套,测量范围:1×10+3mbar5×10-10mbar

4.2.4 含所涉控制器及线缆。

4.3真空阀门

4.3.1 CF40手动插板阀:用于隔断Prep腔与Load-lock腔的连接;

4.3.2 CF63手动插板阀:用于隔断80L/s分子泵与Load-lock腔的连接;

4.3.3 KF25 角阀×2

4.3.4 CF16 真空Vent阀。

4.4样品针尖暂存装置

4.4.1 可存储不少于5个样品/针尖;

4.4.2 配套CF40线性驱动器,行程约100mm

4.5磁力杆

4.5.1 CF40磁力杆,行程约550mm

4.5.2 配套样品抓持头及端口对准器。

4.6观察窗

CF40普通观察窗。

5   外设

5.1系统隔振平台

铝型材系统支架;配套的主动隔振一套。

5.2烘烤装置

5.2.1 耐高温阻燃帐篷;

5.2.2 帐篷支架;

5.2.3 加热器×3

5.2.4 加热带及加热环;

5.2.5 烘烤温度<150℃;

5.2.6 配套烘烤控制器一套:六路输出通道与温度测量。

5.3机柜

用于安装系统所需控制器。

5.4其他附件

波纹管抽气管道、盲板法兰、支撑、耗材等。

(二)质保期不少于1年(验收合格后开始计算)。

五、评分标准

本次招标采用综合评分法,总分为100分,具体内容如下:

(一)技术参数、配置及整体综合性能分(50分)

1.技术参数及配置(35分)

投标人需提供反映该产品技术参数的技术支持资料(测试报告或产品说明书)等作为评标依据,否则视为偏离。

1)所投标产品多项不满足招标文件要求(偏离),或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的,经评标委员会评审可作为无效投标。

2)所投标产品不满足招标文件技术要求的(偏离)、配置不详、技术参数不清或缺漏项的,每处扣3分。

2.综合性能情况(15分)

1)所投产品性能参数优于招标文件中技术条款要求情况(评委会认为超出指标有意义的)(6分)。其中优于项,每处加2分。

2)所投产品的市场反馈情况(9分)。根据所投产品的品牌影响力、市场占有率(同行业为主)、现有用户的反馈情况、使用投标产品发表的学术论文情况等综合评定。

(二)价格分(35分)

1.评标基准价:满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价,评标基准价为满分35分;

2.其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算:投标报价得分=(评标基准价/投标报价)×35分。

(三)综合商务(15分)

1.投标人综合实力(2分)

根据投标人综合实力评定。

2.售后服务与培训情况等(10分)

1)质保期(3分)。符合招标文件要求的,得1分,每增加一年质保期加1分。

2)服务、技术支持与培训承诺情况(6分)。

根据投标文件的相关承诺,在服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3.其它优惠措施等(3分)。根据投标人提供的在招标文件要求范围以外,评标委员会认可的优惠措施综合评定。

六、本次招标采用一次性报价。报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、投标文件的组成

(一)投标文件一

1、投标函

2、投标报价表

3、详细配置及分项报价清单

(二)投标文件二(文件中不得出现所投产品报价及配置分项报价,否则作废标处理)

1、投标基本情况一览表

2、详细配置清单、技术规格偏离表和投标产品彩页

3、技术方案、服务承诺、培训承诺

4、资格证明文件

特别说明:

1投标文件一投标文件二应分别装订和密封,并加盖投标单位公章

2投标文件一,正本一份,副本一份

投标文件二,正本一份,副本五份

3、相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条投标文件中的具体要求执行

八、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求,按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》21条中的要求执行。

九、招标文件价格:人民币800元(相关缴纳事宜详见附件3),售后不退。

十、各投标人在投标前,须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告,完全了解并接受其所有条款及要求,并在20243261200前将报名函(格式见附件4)发送邮件至采购人处(dingy@suda.edu.cn)。

十一、递交投标文件相关事宜:

(一)顺丰快递邮寄方式(建议优先采用)

1. 寄达时间:20243299:00前;

2. 收件人信息:

收件人:丁老师

联系方式:13862165427

收件地址:江苏省苏州市东环路50号苏大东校区(金沙检测线路(js69)有限公司)

(二)现场递交方式

1. 递交时间:20243298:309:00

2. 递交地点:江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门

十二、投标截止时间:20243299:00

十三、开标时间:20243299:00



招标附件.rar